半导体气体系统
面向半导体及高端制造领域，提供超高纯气体纯化、输送、监测及系统集成解决方案。
纯化
输送
监测
集成
Getter吸气剂纯化结合催化净化，气体纯度可达9N级，杂质低至ppt级别。
超高纯气体输运与分配系统，稳定供应满足先进制程的严苛要求。
激光光谱与智能传感技术，全天候在线监测预警，响应达秒级。
提供定制化工艺气体系统集成方案，全面满足半导体及高端制造严苛标准。
Getter纯化系统
凭借 Getter 吸气剂纯化、催化净化及超高纯气体处理核心技术，提供泛半导体、电子材料、高端制造领域专属超高纯气体纯化方案，高效去除氧、水、一氧化碳、二氧化碳及其它痕量杂质，满足先进工艺对气体纯度的严苛要求。
极高纯度痕量杂质控制稳定运行长寿命模块化设计
9N级
气体纯度可达
ppt级别
杂质含量低至
超高纯气体输运与分配系统
凭借自研超高纯气体纯化、输送控制及系统集成技术，专业提供超高纯气体输运、分配与供应系统解决方案，精准匹配泛半导体、电子材料、高端制造等领域对超高纯气体安全稳定供应的严苛要求。
极高纯度稳定输送低污染控制高可靠性模块化设计
9N级
气体纯度可达
ppt级别
杂质含量低至
高精度气体混配系统
凭借气体精准调控、流量精密调校与高精度配比核心技术，打造多组分气体精准混配一体化解决方案，可精准把控各类气体组分配比精度，稳定实现多元气体按需精准调配，广泛适配泛半导体、科研实验、精密检测及高端制造等众多前沿领域。
高精度配比稳定输出智能控制快速响应模块化设计
ppm级别
混配精度可达
多组分气体灵活配置
支持气体种类
定制化半导体工艺气体系统
凭借自研超高纯气体纯化、输送控制及系统集成技术，为泛半导体、电子材料、高端制造领域定制工艺气体整体解决方案，全面满足先进制程在气体纯度、稳定性、安全性方面的严苛标准。
极高纯度定制化设计稳定运行智能控制高可靠性
9N级
气体纯度可达
ppt级别
杂质含量低至
气体泄漏监测系统
凭借自研激光光谱与智能传感监测技术，并结合电化学探测技术，推出高精度气体泄漏监测解决方案，完成对氢气、甲烷、氦气等多种工业气体全天候在线检测预警，广泛服务于能源化工、半导体及高端制造行业。
高灵敏度实时在线监测快速响应智能预警稳定可靠
ppm级别
检测精度可达
秒级响应
响应时间低至
工程案例
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