江苏华兴激光 气体输送系统项目

项目为客户定制超高纯气体输送与分配系统，覆盖气体管路设计、洁净度控制及自动化监控，确保工艺气体在输送全程中纯度不受污染，满足半导体制程对气体供应稳定性与洁净度的严苛要求。