江苏华兴激光 气体纯化系统（合金Getter）项目

项目采用睿分自主合金Getter吸气剂纯化技术，针对半导体制程用气中的氧、水、一氧化碳、二氧化碳及其它痕量杂质进行深度净化，纯化后气体品质满足客户先进制程的严苛要求，系统运行稳定、维护简便。