半导体气体系统

面向半导体及高端制造领域，提供超高纯气体纯化、输送、监测及系统集成解决方案。

纯化

输送

监测

集成

超高纯气体纯化系统

针对集成电路、显示面板、LED等半导体制造工艺对气体纯度的极端要求，提供N₂、H₂、Ar、He等特殊气体的超高纯纯化装置。采用催化净化、低温精馏、吸附纯化等多项专有技术，实现ppb乃至ppt量级的杂质控制。

核心优势

ppb级杂质控制全自动运行远程监控洁净室标准

气体纯度

99.9999% mol+

杂质控制

ppb级别

为半导体洁净厂房提供符合SEMI标准的气体输配管路系统（Gas Distribution System），涵盖管路设计、材料选型、焊接安装、清洁处理及在线检测全流程。确保气体从储存端到使用点的全程纯度保持。

核心优势

SEMI标准全焊接管路洁净安装在线检测

颗粒物控制

Class 1级

工程经验

100+ 项目

提供集气体纯度在线分析、泄漏检测、紧急切断于一体的气体安全管理系统。支持与工厂MES/EAP系统集成，实现气体质量的实时监控、异常预警及自动处置，保障生产安全与产品良率。

核心优势

实时监测自动报警系统集成数据追溯

响应时间

<1秒

检测精度

ppb级

这里一段文字，传承睿分的精神内核，文字不宜过长，请简短说明

为国内某主流12英寸晶圆制造企业提供超纯氮气纯化与输配系统工程总承包服务。

完成某LED面板厂氢气、氮气在线纯化系统安装调试，满足MOCVD工艺要求。

为某半导体封装企业部署气体在线监测系统，有效降低因气体污染导致的良率损失。