半导体气体系统
面向半导体及高端制造领域，提供超高纯气体纯化、输送、监测及系统集成解决方案。
纯化
输送
监测
集成
超高纯气体纯化系统
针对集成电路、显示面板、LED等半导体制造工艺对气体纯度的极端要求，提供N₂、H₂、Ar、He等特殊气体的超高纯纯化装置。采用催化净化、低温精馏、吸附纯化等多项专有技术，实现ppb乃至ppt量级的杂质控制。
Key Advantages
ppb级杂质控制全自动运行远程监控洁净室标准
气体纯度
99.9999% mol+
杂质控制
ppb级别
超纯气体输送系统
为半导体洁净厂房提供符合SEMI标准的气体输配管路系统（Gas Distribution System），涵盖管路设计、材料选型、焊接安装、清洁处理及在线检测全流程。确保气体从储存端到使用点的全程纯度保持。
Key Advantages
SEMI标准全焊接管路洁净安装在线检测
颗粒物控制
Class 1级
工程经验
100+ 项目
气体在线监测与安全系统
提供集气体纯度在线分析、泄漏检测、紧急切断于一体的气体安全管理系统。支持与工厂MES/EAP系统集成，实现气体质量的实时监控、异常预警及自动处置，保障生产安全与产品良率。
Key Advantages
实时监测自动报警系统集成数据追溯
响应时间
<1秒
检测精度
ppb级
Case Studies
Real-world applications of RefineTek technology across industries.
